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株式会社テクメイション

製品案内

テスコム社製半導体用圧力調整器

シリーズ名特徴最高入口圧力
(MPaG)
調整圧力範囲
(MPaG)
流体温度
(℃)
Cv値参考資料

12

12シリーズ
  1. ライン用小型モデル
  2. 各種IGSにも対応
  3. タイドステム、スプリングレスモデル
  4. ハイフローモデルもあり
  • 1.03
  • -0.067 ~ 0.1
  • 0.01 ~ 0.21
  • 0.02 ~ 0.41
  • 0.02 ~ 0.69
  • -40 ~ 74
  • 0.04
  • 0.08

15

15シリーズ
  1. バルク用大流量モデル
  2. スプリングロードタイプに加えてドムロードタイプ、べローズタイプもあり
  • 2.06
  • 0 ~ 0.89
  • 0 ~ 1.03
  • -29 ~ 65
  • 8.0
  • 14.0

22-2200

22-2200シリーズ
  1. BAグレードモデル
  2. 標準流量タイプ
  • 1.72
  • 0.01 ~ 0.21
  • 0.01 ~ 0.41
  • 0.01 ~ 0.69
  • 0.01 ~ 1.03
  • -40 ~ 60
  • 0.24

22-5400

22-5400シリーズ
  1. BAグレードモデル
  2. 大流量タイプ
  • 4.1
  • 0.03 ~ 0.21
  • 0.03 ~ 0.41
  • 0.03 ~ 0.69
  • 0.03 ~ 1.03
  • -40 ~ 71
  • 1.0

23

23シリーズ
  1. 高純度用大流量モデル
  2. タイドステム、スプリングレスモデル
  • 1.72
  • 1.03
  • 0.03 ~ 0.21
  • 0.03 ~ 0.41
  • 0.03 ~ 0.69
  • -40 ~ 60
  • -40 ~ 71
  • 1.8

449-254

449-254シリーズ
  1. BSGS用モデル
  2. ハステロイトリム標準仕様
  • 10.3
  • 0.17 ~ 2.74
  • -40 ~ 60
  • 1.0

64-2600

64-2600シリーズ
  1. 汎用モデル
  2. フリーポペットタイプ
  3. ハステロイトリムモデルもあり
  4. ガスキャビネット向けにも
  • 24.1
  • 4.1
  • 0.01 ~ 0.21
  • 0.01 ~ 0.41
  • 0.01 ~ 0.69
  • 0.01 ~ 1.72
  • -40 ~ 60
  • -40 ~ 71
  • -40 ~ 177
  • 0.06
  • 0.15
  • 0.24

64-2800

64-2800シリーズ
  1. タイドステムタイプ
  2. ハステロイトリムモデルもあり
  3. ガスキャビネット向けにも
  • 24.1
  • 6.8
  • 0.01 ~ 0.21
  • 0.01 ~ 0.41
  • 0.01 ~ 0.69
  • 0.01 ~ 1.03
  • -40 ~ 60
  • -40 ~ 176
  • 0.06
  • 0.15

64-3200

64-3200シリーズ
  1. BSGS用モデル
  2. タイドステムタイプ
  3. ハステロイトリムモデルもあり
  • 1.03
  • 6.8
  • 0.03 ~ 0.21
  • 0.03 ~ 0.41
  • 0.03 ~ 0.69
  • 0.03 ~ 1.03
  • 0.03 ~ 1.37
  • -40 ~ 60
  • -40 ~ 71
  • -40 ~ 177
  • 1.2

64-3400

64-3400シリーズ
  1. 二段式減圧弁
  2. フリーポペット及びタイドステムタイプ
  3. ハステロイトリムモデルもあり
  • 24.1
  • 0.01 ~ 0.21
  • 0.01 ~ 0.41
  • 0.01 ~ 0.69
  • 0.01 ~ 1.03
  • -40 ~ 60
  • -40 ~ 71
  • 0.06
  • 0.15

64-3600

64-3600シリーズ
  1. 高感度減圧弁
  2. フリーポペット及びタイドステムタイプ
  3. ハステロイトリムモデルもあり
  • 24.1
  • 4.1
  • 0.01 ~ 0.21
  • 0.01 ~ 0.41
  • 0.01 ~ 0.69
  • 0.01 ~ 1.03
  • -40 ~ 60
  • -40 ~ 71
  • -40 ~ 177
  • 0.06
  • 0.15

64-5000

64-5000シリーズ
  1. 絶対圧減圧弁
  2. 陽圧の入口圧を負圧域から最大0.69MPaGの圧力に減圧可能
  • 24.1
  • 4.1
  • 0.82
  • -0.094 ~ 0.1
  • -0.094 ~ 0.21
  • -0.094 ~ 0.41
  • -0.094 ~ 0.69
  • -40 ~ 60
  • -40 ~ 71
  • 0.24
  • 0.15
  • 0.06

64-5400

64-5400シリーズ
  1. BSGS用大流量モデル
  2. フリーポペットタイプ
  • 4.1
  • 0 ~ 0.21
  • 0 ~ 0.41
  • 0 ~ 0.69
  • 0 ~ 1.03
  • -40 ~ 60
  • -40 ~ 71
  • 1.0

74-2400

74-2400シリーズ
  1. 超高純度用減圧弁
  2. タイドステム、スプリングレスモデル
  3. パーティクルの発生源を極力排除し
  4. 内部容積も2.9ccに抑えたタイプ
  • 24.1
  • 4.1
  • 0.01 ~ 0.21
  • 0.01 ~ 0.41
  • 0.01 ~ 0.69
  • -40 ~ 60
  • -40 ~ 177
  • 0.06
  • 0.15

74-3000

74-3000シリーズ
  1. 超高純度用減圧弁
  2. 大流量モデル
  3. フリーポペットタイプ
  4. 真空レンジもあり
  • 24.1
  • 6.8
  • 4.1
  • 2.1
  • -0.094 ~ 0.1
  • 0.02 ~ 0.21
  • 0.02 ~ 0.41
  • 0.03 ~ 0.69
  • 0.03 ~ 1.03
  • -40 ~ 60
  • -40 ~ 71
  • -40 ~ 149
  • 0.5

74-3800

74-3800シリーズ
  1. 超高純度用減圧弁
  2. 大流量モデル
  3. タイドステムタイプ
  4. ガスキャビネット向けにも
  • 24.1
  • 6.8
  • 4.1
  • 0.02 ~ 0.21
  • 0.02 ~ 0.41
  • 0.03 ~ 0.69
  • 0.03 ~ 1.03
  • -40 ~ 60
  • -40 ~ 71
  • -40 ~ 177
  • 0.5