減圧弁・背圧弁・バルブ・継手:流体機器の専門商社 | 米TESCOM社・米HOKE社日本総代理店

株式会社テクメイション

安全は適正な対策を行って初めて実現!微差圧モニター ECHOLINE®

エコライン
微差圧モニターECHOLINE®

安全管理意識の高まりで欧米大手装置メーカー、デバイスメーカーで多く本格採用中!
貴社の安全管理に是非ご検討ください。

特徴

  • 他社では取得ができない厳しいUL991、SEMI-S2を取得
  • マイクロコントローラーを使用せず、暴走や潜在的なバグによる誤動作をなくした構造
  • 一体型でコンパクト
  • 様々なご要求に対応(耐食性タイプ等)
  • 安全性、使いやすさの為の各種オプション設定が可能

仕様および機能

  • プロセス状態表示および警報表示
  • 警報状態保持や警報出力タイムディレイ機能
  • メンテナンスモード
  • アナログ警報出力機能
  • 自己診断機能
  • その他オプション各種

安全規格

  • CE、SEMI-S2、UL508、UL991

代表的な使用例

  • 設備の排気状態管理(導入例①)
  • 室内外圧力管理(導入例②)
  • ガス漏れ時などの圧力による防爆保護管理(導入例③)
  • C/C, R/Bの内外圧管理(導入例④)
  • チャンバーや圧力制御機器の管理(導入例⑤)
  • フィルターの目詰まりや風量異常管理(導入例⑥)
ECHOLINE導入事例
導入事例:半導体工場における参考図

資料