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株式会社テクメイション

1/8"VCR接続の半導体ガス用超小型メタルフィルター

高純度ガス用フィルターをさらに小型化

半導体ガス・高純度ガス用のカートリッジフィルターの超小型版が登場しました。

半導体ガス用のカートリッジフィルターとしては1/4"又は1/2”VCRモデルが一般的です。1/4"VCRで84mm、1/2"VCRで134mmが標準的な長さです。これまでは1/4”以下の配管サイズで使用する場合には変換アダプタを使用して来ましたが、アダプタの分が長くなる、漏れの発生する箇所が増える等、使いにくい要素が多くありました。

そこで弊社ではmott社との協力により、1/8"VCRを直接接続できるオールメタルフィルターを製作し販売を開始致しました。全長は45mmとこれまでの約半分の長さに納めることが出来ます。

標準品との比較

標準モデルとの比較

奥側が従来モデル(1/4"VCR)、手前側が新モデル(1/8"VCR)です。ご覧のように、直径は同じ(φ約19mm)ですが長さは約半分。

1円玉との比較

1円玉との比較。

特徴

  • 1/8"VCRを直接接続できる
  • 1.5nm、9LRV対応
  • オールメタルフィルターなので高温対応可能
  • ミニマルファブ等の小型装置に最適

仕様図