減圧弁・背圧弁・バルブ・継手:流体機器の専門商社 | 米TESCOM社・米HOKE社日本総代理店

株式会社テクメイション

製品案内

高純度用ガスフィルター

高純度用ラインフィルター

MOTTラインガスフィルター

半導体製造装置用のラインフィルターです。
エレメント径0.0015μm、9LRVの高性能を誇ります。
超高純度のガス供給に最適です。

高純度用バルクガスフィルター

MOTTバルクガスフィルター

4,500〜60,000NL/minに対応するバルクガス用フィルターです。
ライン用フィルターと同様にエレメント径0.0015μm、9LRVの高性能を誇ります。

高純度用IGSフィルター

MOTTIGSフィルター

IGS用ガスフィルターです。
Wシール、Cシールに対応した製品がございます。

高純度用ガスケットフィルター

MOTTガスケットフィルター

重要なガス供給機器保護のために使用されます。
MOTT社のガスケットフィルターは標準で316L材とニッケル材を選択できます。

高純度用ディフューザー

MOTTディフューザー

真空チャンバーのベント用途に使われます。
チャンバー内のパーティクルを撹乱させずにベントが可能となります。

高純度用フローリストリクター

MOTTフローリストリクター

流量調整器としてMFC,ニードルバルブを代替可能です。
MOTT社の多孔質金属技術を用いて半導体製造装置向けに特別に設計されました。